Organisation

• M. Marc Lethiecq (Directeur)

42 chercheurs et enseignants-chercheurs
36 doctorants

• Axe 1. Elaboration de matériaux innovants et nouvelles méthodes de caractérisation (Antoine RUYTER)
• Axe 2. Physique des matériaux et milieux complexes : interactions et corrélations (Jean-Claude SORET)
• Axe 3. Nanotechnologies, micro / nano systèmes, composants et intégration (Daniel ALQUIER)

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Axe(s) / thème(s) de recherche

• Matériaux pour la microélectronique et les micro/nano systèmes
• Matériaux pour l'efficacité énergétique (production, transport, stockage)
• Conversion d'énergie électrique et électro-acoustque : du nano au macro
• Nouvelles techniques de caractérisation de matériaux, milieux et structures complexes
• Synthèse et étude de matériaux à propriétés remarquables

Partenariats

Partenariats académiques internationaux

Universitiés

• Catania & La Sapienza (Italie)
• Sheffield (GB)
• Augsburg (Allemagne)
• Gwangju Institute of Technology (Corée du Sud)
• EPFL & Université de Lausanne (Suisse)
• UPC Barcelona (Espagne)

Académies des Sciences de République Tchèque (Prague), Pologne (Varsovie), Russie (Moscou)

Instituts de Recherche

• Jozef Stefan Institute (Slovénie)
• Cenro Ricerche Fiat (Italie)
• Scottish Microelectronics Centre (GB)
• Japan Advanced Institute of Science & Technology (Japon)
• IMEL Athens & Forth Institute (Grèce)
• Institute for Microelectronics & Microsystems - CNR (Italie)

Partenariats académiques nationaux

• CEA (Monts & Saclay)
• IEMN (Lille & Valenciennes)
• CRHEA (Nice)
• CRISMAT (Caen)
• SPCTS (Limoges)
• CEMHTI, GREMI & CRMD (Orléans)
• LAAS & CEMES (Toulouse)
• InESS (Strasbourg)
• IM2NP (Marseille)
• G2Elab (Grenoble)

Partenariats industriels

• STMicroelectronics
• HF Company
• Vermon S.A.
• Ainelec
• NOVASiC
• Siltronics
• Faiveley Transport
• AEG Power Solution
• MEGGITT-Ferroperm Piezoceramics (Daenmark)
• ABCD & MTB (Switzerland)

Équipements principaux

• salle blanche du CERTeM (400m2, classe 100) : réalisation de composants et MEMS
• laboratoire de synthèse de poudres, céramiques, monocristaux et films (minces par PLD mono et multi cibles, épais par sol-gel modifié)
• microscopies (électroniques MEB & MET, AFM, STM, MFM)
• Focussed Ion Beam (FIB-STEM, depot, nanolithographie raith)
• spectroscopies (IR, visible), RPE, diffraction X,
• ellipsométrie, dilatométrie, FTIR, DLTS
• interféromètres et vibromètres laser (mesures de nano déplacements et vitesses)
• systèmes de caractérisation physique et électrique : PPMS, propriétés de transport, susceptomètre magnétique en température, mesures sous pointes, tests électriques du continu à la très haute fréquence, faibles et fortes puissances
• hottes chimiques
• implanteur ionique, graveurs plasma (RIE, IBE), équipements de dépôt (LPCVD, PECVD)
• fours de calcination, frittage, recuits, à image...
• chambre anéchoïque

Mots clés

Matériaux, oxydes, conducteurs, supraconducteurs, optique, diélectriques, magnétisme, magnéto-conductivité, céramiques, films, dépôts, monocristaux, synthèse, microélectronique, microscopie électronique, spectroscopie, infrarouge, cryogénie, fours diffractométrie X